隨著信息技術(shù)的飛速發(fā)展，使得硅（Si）材料的產(chǎn)業(yè)拓展有很大的空間，國內(nèi)的硅片甩干生產(chǎn)線已應(yīng)用開來，
硅片甩干機(jī)也成了工業(yè)生產(chǎn)上非常重要的一環(huán)！
硅片甩干機(jī)的Si片內(nèi)部的原子排列整齊有序,每個Si原子的4個價電子與周圍原子的價電子結(jié)合構(gòu)成共價鍵結(jié)構(gòu)。但是經(jīng)過切割工序后,Si片表面垂直切片方向的共價鍵遭到破壞而成為懸空鍵，這種不飽和鍵處于不穩(wěn)定狀態(tài),具有可以俘獲電子或其他原子的能力,以減低表面能,達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。
當(dāng)周圍環(huán)境中的原子或分子趨近晶片表面時,受到表面原子的吸引力,容易被拉到表面,在Si晶片表面富集,形成吸附,從而造成污染。理想表面實(shí)際是不存在的,實(shí)際的Si片表面一般包括三個薄層:加工應(yīng)變層、氧化層和吸附層,在這三層下面才是真正意義上的晶體Si。
對于太陽能用Si片來說,加工應(yīng)變層是指在線切工藝時所產(chǎn)生的應(yīng)變區(qū),氧化層指新切出的表面與大氣接觸造成的氧化薄膜,厚度在幾納米到幾十納米之間,和留置在空氣中的時間有關(guān),這也是切割后的Si片如果不能馬上進(jìn)入下一工序,要盡快浸泡到純水中的原因。硅片甩干機(jī)的Si片表面zui外層即為吸附層,是氧化層與環(huán)境氣氛的界面,吸附一些污染雜質(zhì)。這些沾污可以分為分子、離子、原子或者分為有機(jī)雜質(zhì)、金屬和粒子。
